国产光刻机核心部件突围！东微电子自研直线电机获中芯、长鑫认证

近日，河南东微电子材料有限公司宣布，其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件，正式通过中芯国际和长鑫存储的严格认证。

直线电机：光刻机精密运动的“心脏”

• 光刻机需以纳米级精度将电路图案“雕刻”在硅片上，直线电机直接驱动工作台和掩模台进行高速、超精密直线运动，其性能直接决定了设备的定位精度和运动稳定性。

• 随着芯片制程进入纳米时代，传统旋转电机加传动机构的方式难以满足要求，直线电机凭借直接驱动、无机械损耗、响应快、精度高等核心优势，成为唯一选择。

• 高端光刻机用直线电机技术门槛极高，国内市场长期严重依赖进口。2021年12月，国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年版）》更是将其明确列为关键“卡脖子”项目。

东微电子：攻坚克难，对标国际顶尖
面对严峻的技术封锁形势，东微电子组建专门的技术攻坚团队，历经多年潜心研究，对光刻机关键零部件的特殊性能指标、极端使用环境和精密制备工艺发起全面攻关，最终成功突破技术壁垒。

企业实力与战略布局

• 东微电子成立于2018年，落户河南省郑州市航空港实验区，并在上海、北京、无锡、厦门等地设有研发生产基地。

• 公司致力于成为高端集成电路制造用材料和设备零部件一站式服务平台，业务涵盖半导体核心材料、半导体设备及核心零部件三大板块，产品包括溅射靶材、反应腔体等。

• 作为国家级专精特新重点“小巨人”企业，东微电子技术实力持续获得验证。今年3月，其成功交付六台12寸晶圆制造高端设备并发往行业头部企业。

• 未来布局： 东微电子计划在重庆投资建设半导体设备西南总部项目。该项目于今年7月28日正式签约，计划总投资15亿元，分两期建设。一期将建设西部半导体设备生产基地与先进存储芯片研究院；二期扩产并建设射频芯片生产线。项目拟于2025年开工，2026年投产，预计到2029年实现年产值12亿元。

此次东微电子光刻机核心零部件通过国内两大芯片制造龙头中芯国际和长鑫存储的认证，是一次关键技术的重大突破，也是中国半导体产业链在核心设备零部件自主可控道路上取得的标志性进展，为加速光刻机国产化进程注入了强劲动力。

作为光刻机运动平台的“精密心脏”，直线电机直接驱动工作台和掩模台进行高速、超精密的直线运动。它摒弃了传统旋转电机依赖的机械传动环节，凭借零接触、无摩擦损耗、响应极快、定位精度可达纳米级等核心优势，成为实现芯片电路图案纳米级精准“雕刻”的唯一选择。其极高的技术门槛使之成为光刻机国产化进程中必须攻克的关键“卡脖子”零部件之一。据了解，2021年12月，国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年版）》明确将光刻机用直线电机列为关键“卡脖子”项目，直线电机的制造和生产技术对我国打破国外光刻机技术垄断具有重要意义。