3D轮廓测量仪 ES-200

产品描述：

◆非接触3D表面扫描系统  

◆搭载X、Y、Z高精度运动平台

◆200mm×200mm范围内自动测量  

◆2D剖面图和3D点云图  

◆友好人机界面  

◆测量表面粗糙度

技术： 

◆采用白光干涉技术，分辨率达到纳米级，最大可达100mm视野范围 

◆0-200mm运动精度达到微米级，运行平稳，跳动小，磨损低 

应用：

◆表面粗糙度测量

◆平面度测量 

◆共面性测量 

设备技术参数：

项目	技术参数
外观尺寸	1065mm*780mm*1761mm
最大扫描行程	200*200mm
Z轴可调行程	100mm
产品定位	真空吸附
扫描最小步距	1um
最大扫描速度	150mm/s
检测重复精度	±0.8µm
电源	AC220V±10%,50-60 Hz