微纳制造
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EBL 电子束 直描机 8100

产品介绍

主要规格:

加速电压:100kV / 50kV

最小线宽:100kV : <12nm (HT), <8nm (HR) / 50kV:<20nm (HT), <10nm (HR)

支持8英寸以下电子束直写

※基板尺寸
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